日前，由*第13研究所研制的MEMS加速度傳感器突破了高精度SOI工藝加工、圓片級可調(diào)阻尼封裝、低功耗ASIC*集成電路等關(guān)鍵技術(shù)，在招標(biāo)項(xiàng)目中，一舉戰(zhàn)勝美國PCB公司和瑞士奇石樂等傳感器廠商。這是國產(chǎn)MEMS加速度傳感器在招標(biāo)中獲勝，標(biāo)志著中國電科MEMS加速度傳感器已達(dá)到*產(chǎn)品水平。
MEMS加速度傳感器具備高精度、高分辨率（分辨率優(yōu)于10μg）、低噪聲（13所2.5μg，國外同類產(chǎn)品約5μg）、低功耗、低溫漂、抗過載和超小體積（體積是國外同類產(chǎn)品1/4）、重量小于1.2克（國外同類產(chǎn)品約10克）等技術(shù)特點(diǎn)，主要技術(shù)指標(biāo)全面超越國外同類產(chǎn)品。
MEMS加速度傳感器具備高精度、高分辨率（分辨率優(yōu)于10μg）、低噪聲（13所2.5μg，國外同類產(chǎn)品約5μg）、低功耗、低溫漂、抗過載和超小體積（體積是國外同類產(chǎn)品1/4）、重量小于1.2克（國外同類產(chǎn)品約10克）等技術(shù)特點(diǎn)，主要技術(shù)指標(biāo)全面超越國外同類產(chǎn)品。
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