【化工機械設備網 熱點關注】芯片巨頭英特爾在位于愛爾蘭 Leixlip 的 Fab 34 工廠，完成了首臺極紫外(EUV)光刻機的安裝。兩個月前，該公司才開始在該晶圓廠安裝首臺芯片制造設備。而由荷蘭阿斯麥(ASML)制造的這臺 EUV 光刻機，先是被運到了美國俄勒岡州的 Hillsboro，接著又被轉運到了歐洲。
上周，芯片巨頭英特爾在位于愛爾蘭 Leixlip 的 Fab 34 工廠，完成了首臺極紫外(EUV)光刻機的安裝。兩個月前，該公司才開始在該晶圓廠安裝首臺芯片制造設備。而由荷蘭阿斯麥(ASML)制造的這臺 EUV 光刻機，先是被運到了美國俄勒岡州的 Hillsboro，接著又被轉運到了歐洲。
目前尚不清楚英特爾為何要讓這臺機器繞地球這么一大圈，一種猜測是英特爾在俄勒岡州進行了早期檢測、以確保光刻機符合該公司的嚴格要求。
此外預計這臺機器是安裝在愛爾蘭 Fab 34 工廠中的第一臺 EUV 光刻機，并作為英特爾 7nm(Intel 4)工藝技術的關鍵推動者。
據說這套設備總共動用了 4 架未知型號的波音飛機來空運，然后由 35 輛卡車陸運至 Fab 34 。
最后，英特爾透露，自去年 12 月以來，這些“工具”已分批發(fā)送，但直到最近才完成組裝。
原標題:英特爾愛爾蘭Fab 34芯片制造工廠迎來首臺EUV光刻機
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