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金屬磁控濺射儀

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地鄭州市

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更新時間：2025-01-08 07:13:36瀏覽次數(shù)：36次

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產(chǎn)品簡介

金屬磁控濺射儀， 外形小巧 ，功率電流大小可調(diào)，觸摸屏控制，有工藝儲存功能，外配水冷機可長時間工作。

詳細(xì)介紹

金屬磁控濺射儀這是一種易于使用的基本儀器，用于SEM試樣的鍍金。它具有全可變電流控制、帶暫停選項的數(shù)字過程定時器、可變高度試樣臺、鉸鏈頂板和 O 形圈密封真空室。該控制裝置允許獨立于氣體壓力設(shè)置濺射電流，氣體壓力由手動泄漏閥單獨調(diào)節(jié)。覆蓋面和晶粒尺寸針對任何試樣進(jìn)行了優(yōu)化,徑目標(biāo)的冷磁控管型磁頭能夠以最小的加熱實現(xiàn)高效的濺射。鍍膜時間由帶有數(shù)字讀數(shù)的定時器設(shè)置并存儲在存儲器中。真空狀態(tài)和濺射電流顯示在C觸摸屏上。

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金屬磁控濺射儀廠家供應(yīng)技術(shù)參數(shù)；

控制方式

7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1000W

輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

真空

機械泵 ≤5Pa（5分鐘）   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

樣品臺

可旋轉(zhuǎn)φ62  （可安裝φ50基底）

樣品臺轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

40-105mm

真空測量

皮拉尼真空計（已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa）

預(yù)留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進(jìn)氣口




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