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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司


高溫蒸鍍儀

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地鄭州市

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更新時間：2025-01-08 07:23:56瀏覽次數(shù)：40次

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產(chǎn)品簡介

高溫蒸鍍儀，KT-Z1650CVD，石英＋不銹鋼腔體，觸摸屏控制，工藝儲存功能，自動電控擋板保護樣品

詳細介紹

高溫蒸鍍儀，KT-Z1650CVD，石英＋不銹鋼腔體，觸摸屏控制，工藝儲存功能，自動電控擋板保護樣品

在厚度為2nm (20埃)或更厚時膜是連續(xù)的。通常的沉積形式是加熱碳或石墨棒。棒具有特定的形狀以達到電流密度，使得它具有足夠的溫度來引起蒸發(fā)?；谶@點，出現(xiàn)了細小的、亮的、熱的碳顆粒。此系統(tǒng)需要用擴散泵或渦輪分子泵達到1x10-4 mbar或更高的真空度。
渦輪分子泵在K950X中作為標(biāo)準(zhǔn)配置，此泵作為機械真空泵的后級泵，真空為全自動控制，真空度優(yōu)于1x10-5 mbar?？蛇M行預(yù)熱及除氣控制，同時用瞬時蒸發(fā)開關(guān)使脈沖蒸發(fā)在用戶控制下進行。
標(biāo)準(zhǔn)的旋轉(zhuǎn)樣品臺可進行傾斜調(diào)節(jié)，非常容易適應(yīng)各種樣品座。

以下是不同真空度 不同鍍膜時間鍍銅樣品圖

637858771737832260197.png   原樣品沒有鍍膜                       637858771732996198687.png  115A 100秒 機械泵

637858771732840196319.png115A 100秒 分子泵抽12分鐘    637858771732684194803.png  115A 120秒 分子泵抽20分鐘


真空度越高 越不易氧化 越接近金屬本色


高溫蒸鍍儀KT-Z1650CVD

控制方式

7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

加熱方式

數(shù)字式功率調(diào)整器

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1200W

輸出電壓電流

電壓≤12V  電流≤120A

真空度

機械泵 ≤5Pa（5分鐘）   分子泵≤10^-3Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm

樣品臺

可旋轉(zhuǎn)φ62  （可安裝φ50基底）

樣品臺轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離

70-140mm

蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)

≤1800℃

支持蒸發(fā)坩堝類型

鎢絲藍  帶坩堝鎢絲藍  鎢舟  碳繩  

預(yù)留真空接口

KF25抽氣口  KF16真空計接口  KF16放氣口 6mm卡套進氣口

可選配擴展

機械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa）  

數(shù)顯真空計（測量范圍大氣壓到0.1Pa）

分子泵機組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa）





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