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TESCAN 電鏡質譜 FIB-SEM-TOF-SIMS 聯(lián)用系統(tǒng)

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產品簡介

質量分辨率:>800質量分析范圍:1-2500原始束流或速能量:30kV儀器種類:飛行時間TESCAN電鏡質譜FIB-SEM-TOF-SIMS聯(lián)用系統(tǒng)電子顯微分析是材料和生命科學微觀分析中最重要的一環(huán)

詳細介紹

質量分辨率:>800
質量分析范圍:1-2500
原始束流或速能量:30 kV
儀器種類:飛行時間

TESCAN 電鏡質譜 FIB-SEM-TOF-SIMS 聯(lián)用系統(tǒng)
電子顯微分析是材料和生命科學微觀分析中最重要的一環(huán),而元素分析是其中最重要的表征手段之一,但標準的分析手段如能譜儀和波譜儀存在很多不足,例如因靈敏度不足、空間分辨率較差,無法進行輕元素、微量元素的分析,無法分辨同位素等等,普通的分析手段已不能滿足現(xiàn)階段應用的需求。
TESCAN 提供的解決方案是將飛行時間二次離子質譜與 FIB-SEM 系統(tǒng)集成。這種組合能夠為用戶提供固體材料的 3D 化學表征和分子信息,高離子質量分辨率和高空間分辨率成像等,并可以進行原位 FIB 深度分析。
飛行時間-二次離子質譜(TOF-SIMS)
TOF-SIMS(Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry) 是具有分辨率的質譜儀,工作原理是用聚焦離子束照射樣品表面,從而在樣品最上層的原子層激發(fā)出二次離子 (SI),再根據(jù)不同質量的二次離子飛行到探測器的時間不同來測定離子質量。
與 EDX 相比,TOF-SIMS 可以實現(xiàn)更好的橫向和縱向分辨率,還可以識別并定量樣品表面層中存在的元素和分子物質,以及具有類似標稱質量的同位素和其他物質等。

系統(tǒng)主要優(yōu)勢:
高靈敏度,Be,B和Li之類的輕元素檢出限可達ppm級
優(yōu)異的空間分辨率,橫向分辨<><15>
正負離子均可檢測,離子質量分辨率>800
2維和3維快速、高離子質量分辨率和高空間分辨率成像,進行原位FIB深度分析
通過坐標轉移,保證不同儀器分析位置的重合

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