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行業(yè)產(chǎn)品

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招遠普斯瑪?shù)入x子技術(shù)有限公司


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等離子去光阻機

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號GDR-60G

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地煙臺市

化工機械設備網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時間：2016-06-23 15:17:47瀏覽次數(shù)：276次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：11條

所在地區(qū)：山東煙臺市

聯(lián)系人：張經(jīng)理 （銷售經(jīng)理）

產(chǎn)品簡介

采用電感耦合高密度等離子體（ICP），能快速去除晶圓上之殘留光阻，達到晶圓表面潔凈，具有蝕刻率高，無電極污染，離子能量低，不損傷基板等優(yōu)點。

詳細介紹

◆ 設備外形尺寸（不包括報警燈）

650（W）×900（D）×1600（H）mm

 ◆ 合金鋁真空倉體（約100升）

450（W）×450（D）×450（H）mm

◆ 電極結(jié)構(gòu)

  外置電感耦合電極

◆ 等離子發(fā)生器（美國MKS）

   頻率13.56MHZ,功率0-1000W連續(xù)調(diào)節(jié),自動阻抗匹配,全電路保護,可連續(xù)長時間工作

◆ 控制系統(tǒng)

  PLC觸摸屏控制,采用歐姆龍、西門子等世界電器元件，性能穩(wěn)定可靠,并具有手動、自動兩種模式

◆ 真空系統(tǒng)（真空壓力PID閉環(huán)自動控制）

  日本愛發(fā)科（ULVAC）機械真空泵 VDN901 （23L/S）

  中國臺灣氣動真空角閥、充氣閥、DN40不銹鋼真空波紋管、德國英?？祲毫鞲衅?nbsp;        

◆ 充氣系統(tǒng)

 美國MKS高精度電子質(zhì)量流量計（四路氣體配制）

美國世偉洛克SWAGELOK氣體管路及接口組件，德國雙級減壓閥

  日本SMC及CKD高真空氣閥組件


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