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超長工作距離金相顯微鏡，PSM-1000工業(yè)顯微鏡采用全新的一體化設(shè)計，具有優(yōu)異的光學(xué)成像質(zhì)量，造型新穎，使用方便，并具有豐富的擴(kuò)展功能，可以廣泛應(yīng)用于冶金、半導(dǎo)體、電子等行業(yè)的制造和研究領(lǐng)域。

描述

◆ 人機(jī)工程頭部
PSM-1000E雙目觀察頭可以在3°-　30°轉(zhuǎn)動，調(diào)整觀察眼點的高度和觀察方向，使操作者的使用更加舒適。
◆ 管鏡
PSM-1000的管鏡轉(zhuǎn)盤上裝有1X NUV、1X NIR和2X 管鏡，三組管鏡之間可以根據(jù)需要進(jìn)行切換，切換簡單、方便。其中1X NUV對355nm和532nm波長進(jìn)行了優(yōu)化，1X NIR對532nm和1064nm波長進(jìn)行了優(yōu)化，當(dāng)使用這3個波長的激光器時，可以得到更好的激光透過率。
◆ 光路切換拉桿
通過推拉光路轉(zhuǎn)換拉桿可以方便的對光路進(jìn)行切換。當(dāng)轉(zhuǎn)換拉桿往外拉時，雙目頭和攝像接口的分光比為0：100，此時從攝像接口上入射的全部進(jìn)入光路，提高了激光效率；當(dāng)轉(zhuǎn)換器拉桿往里推時，雙目頭和攝像接口的分光比為50：50，此時即可用雙目頭觀察，同時也可以在攝像接口上使用CCD攝像頭或激光器。
◆ 偏光觀察
主體上留有偏光插孔，插上偏光附件(選配件)，可進(jìn)行偏光觀察。
◆ 調(diào)焦機(jī)構(gòu)
PSM-1000的調(diào)焦機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動舒適，工作可靠。調(diào)焦機(jī)構(gòu)大可承載45磅(20.4Kg)，確保安裝激光器和CCD攝像頭后，仍然能夠正常工作。
◆ 轉(zhuǎn)換器
PSM-1000采用4孔可調(diào)中轉(zhuǎn)換器，使用隨機(jī)配送的調(diào)中鑰匙，可以很方便地調(diào)整物鏡的齊中。
◆ 物鏡
PSM-1000采用長工作距離的無應(yīng)力平場復(fù)消色差物鏡，提供了優(yōu)異的成像質(zhì)量。關(guān)于物鏡的具體參數(shù)請參照APO物鏡樣本。
◆ 數(shù)碼攝像系統(tǒng)
根據(jù)所使用的CCD攝像機(jī)的CCD尺寸，選擇合適的攝像接頭，安裝在攝像接口上，組成數(shù)碼攝像系統(tǒng)，就可以在電腦、電視上同步觀察。
◆ 照明系統(tǒng)
采用同軸垂直照明系統(tǒng)，光源采用外置冷光源。長達(dá)2m的照明光纖和光源遙控器(選配件)給PSM-1000帶來更自由的操作空間。
◆ 探測工作站
PSM-1000的主體部分可以安裝在探測工作站上，進(jìn)行硅片的測試。
◆ 激光裝置
PSM-1000的攝像接口處裝有激光安全定位銷，雙目頭前留有安裝激光安全濾色片的位置，并提供補償墊片。無需的激光工具箱，就可以方便的把激光器和激光安全濾色片安裝上。
注:在安裝和使用激光器之前，請您仔細(xì)閱讀激光器和激光安全濾色片的使用手冊。由于在PSM-1000上使用激光器和激光安全濾色片而產(chǎn)生的安全和性能問題，麥克奧迪實業(yè)集團(tuán)有限公司對此概不負(fù)責(zé)。

目鏡	WF10X/24，視場直徑 24mm，獨立矯正色差
雙目頭	瞳距調(diào)節(jié)范圍55~75mm
上主體	分光比為50:50或0:100
管鏡	1X NUV/VIS; 1X NIR/VIS; 2X VIS
轉(zhuǎn)換器	4孔，中心可調(diào)
物鏡	長工作距離或超長工作距離; 無限遠(yuǎn)平場復(fù)消色差; 齊焦距離: 95mm; 連接螺紋: M26X1/36"(0.706); 齊焦機(jī)構(gòu)(可選)
調(diào)焦機(jī)構(gòu)	調(diào)焦行程: 52mm; 粗動手輪4mm/轉(zhuǎn);微動手輪0.1mm/轉(zhuǎn); 微動手輪 1μm/格; 大承載重量: 45磅(20.4Kg)
照明系統(tǒng)	同軸垂直照明，可變孔徑光欄( 0.8~ 6)
冷光源	輸入電壓: 110V或220V; 150W/21V; 鹵素?zé)暨b控器(可選)
移動載物臺	XY行程: 75X50mm
人機(jī)工程頭部	轉(zhuǎn)動范圍3 -30

PSM-1000配置表

名稱		物料編號	PSM-1000	PSM-1000S	PSM-1000E	數(shù)量
目鏡WF10X/24(含護(hù)眼罩）		SG02S0173	●	●	●	2只
目鏡WF15X/16		SG02T0316	○	○	○	2只
目鏡WF20X/12		SG02T0317	○	○	○	2只
鉸鏈?zhǔn)诫p目		SP100243	●	●	/	1
鉸鏈?zhǔn)诫p目		SP100243A	/	/	●	1
上主體組		SW0199BD	●	●	/	1
變角度上主體組		AP9977730	/	/	●	1
下主體組		SW0199BE	●	/	●	1
下主體組(帶3個偏光插孔)		SW0199Y1	/	●	/	1
四孔轉(zhuǎn)換器組		SW011715A	●	●	●	1
調(diào)焦組		SW0199BG	●	●	●	1
底座組		SW010282A	●	●	●	1
工業(yè)顯微鏡移動式載物臺		SW010338P	●	●	●	1
長工作距離復(fù)消色差物鏡*	ELWD2X	SG01S102C3	○	○	○	1
	ELWD5X	SG01S162C3	○	○	○	1
	ELWD10X	SG01S022C3	○	○	○	1
	ELWD20X	SG01S032C3	○	○	○	1
	ELWD50X	SG01S122C3	○	○	○	1
	ELWD100X	SG01S062C3	○	○	○	1
超長工作距離復(fù)消色差物鏡*	ULWD50X	SG01S122C5	○	○	○	1
超長工作距離復(fù)消色差物鏡*	ULWD100X	SG01S062C5	○	○	○	1
可調(diào)焦長工作距離復(fù)消色差物鏡*	ELWD2X	SG01S102C4	○	○	○	1
	ELWD5X	SG01S162C4	○	○	○	1
	ELWD10X	SG01S022C4	○	○	○	1
	ELWD20X	SG01S032C4	○	○	○	1
	ELWD50X	SG01S122C4	○	○	○	1
	ELWD100X	SG01S062C4	○	○	○	1
可調(diào)焦超長工作距離復(fù)消色差物鏡*	ULWD50X	SG01S122C7	○	○	○	1
可調(diào)焦超長工作距離復(fù)消色差物鏡*	ULWD100X	SG01S062C7	○	○	○	1
0.5X攝像接筒組(接2/3"CCD)		SP100363	○	○	○	1
0.4X攝像接筒組(接1/2"CCD)		SP100365B	○	○	○	1
1X攝像接筒組(接2/3"CCD)		SP100386	○	○	○	1
MOTICAM480/1000/2000/3000/5000及配套軟件			○	○	○	1
檢偏插片		SW01991Z	○	○	○	1
起偏插片		SW01992B	○	/	○	1
起偏插片(可旋轉(zhuǎn))		SW01992BA	/	○	/	1
中間插片(可旋轉(zhuǎn))		SW01993H	/	○	/	1
調(diào)中鑰匙		SW0199BH	●	●	●	2
墊圈(安裝激光濾色片時使用)		SW018880	●	●	●	2
十字槽盤頭螺釘 M3X10(安裝激光濾色片時使用)		SS0120594	●	●	●	3
轉(zhuǎn)接環(huán)(數(shù)量根據(jù)訂單)		SW011840	○	○	○	1~4
使用手冊(中文，PSM1000機(jī))		SP010980	●	●	●	1
保修卡		SP160004	●	●	●	1
物鏡顏色標(biāo)貼(含灰、紅、黃、綠、藍(lán)、白)		ST7033	●	●	●	1套
合格證		SP150001	●	●	●	1
工業(yè)顯微鏡光纖(輸出端為直頭)		SP990073A	○	○	○	1
工業(yè)顯微鏡光纖(輸出端為彎頭)		SP990073B	○	○	○	1
MITUTOYO光纖接頭 (MITUTOYO型光纖)		SP99008A	○	○	○	1
MLC-150C冷光源		SP120070	○	○	○	1
注：帶" * "號的為外購件， "●"表示標(biāo)配，"○"表示選配，PSM-1000E暫不供貨。