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使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過反射率進行測量，可進行高精度膜厚度 光學常數(shù)分析。 可通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度，例如各種膜、晶片、光學材料和多層膜。...
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