一、特殊氣體配比裝置流程概述
特殊氣體配比裝置主要采用控制加入特殊氣體的流量來達(dá)到特殊氣體按一定比例混合的目的。一般情況下，是控制含量較少的氣體的流量， 一臺氣體配比裝置主要由特殊氣體流量計、特殊氣體分析儀、PID控制器、流量調(diào)節(jié)閥、壓力表、混合罐、機箱等組成。
二、原理說明：
特殊氣體分析儀測量得到混合罐內(nèi)的特殊氣體含量，特殊氣體分析儀將所測得的含量轉(zhuǎn)換成4～20mA信號，傳送給PID控制器，PID控制器將此信號轉(zhuǎn)換成機械信號向流量調(diào)節(jié)閥發(fā)出動作指令，指揮流量調(diào)節(jié)閥的開度大小，流量調(diào)節(jié)閥的開度大小決定了混合罐內(nèi)的特殊氣體含量，在不斷調(diào)節(jié)中，從而達(dá)到特殊氣體按一定比例混合的目的。
三、裝置特點
1、特殊氣體分析儀：選用高精度特殊氣體分析儀，測量精確，可靠性高，反應(yīng)迅速。此特殊氣體分析儀帶4～20mA信號輸出。
2、PID控制器：選用日本SHIMANDEN產(chǎn)PID控制器，控制精度高，能迅速將獲得的信號與設(shè)定值對比，并快速發(fā)出指令，保證控制的準(zhǔn)確度和精度。同時快速的反應(yīng)能保證特殊氣體含量的穩(wěn)定。
3、流量控制閥：選用高靈敏度調(diào)節(jié)閥，閥門動作幅度小，不會出現(xiàn)急開急關(guān)的情況，能很好控制氫氣的供給量，從而保證特殊氣體含量的穩(wěn)定性。
4、設(shè)備整體箱式結(jié)構(gòu)，方便安裝，節(jié)省空間。
5、PID控制主要是基于含量設(shè)定值與含量實際值的差別來實現(xiàn)控制的。當(dāng)實際值低于設(shè)定值時，PID指揮調(diào)節(jié)閥開大流量，當(dāng)實際值高于設(shè)定值時，PID指揮調(diào)節(jié)關(guān)小流量，如此不斷往復(fù)，達(dá)到平衡，即設(shè)定值與實際值的統(tǒng)一。
四、工藝流程圖：
